近日，中國光學工程學會發布2022年首屆“金燧獎”中國光電儀器品牌榜獲獎名單，長春光機所光柵技術中心開發的“一維光柵線位移傳感器”榮獲銀獎。
 

　　“金燧獎”中國光電儀器品牌榜旨在面向國家重大戰略需求，以促動關鍵核心技術攻關，突破“卡脖子”技術發揮關鍵作用為出發點，重點評選出我國自主研發、制造、生產的高端光電儀器，為助力我國自主研發的科學儀器搶占科技戰略制高點、樹立民族品牌自信、展現自主核心競爭力、開拓國內外應用市場創造新的機遇。
 

　　光柵位移測量以光柵柵距為基準，不易受環境擾動影響，具有更高的抗干擾能力和測量重復性精度，成為高端光刻機、高檔數控機床等高精度測量需求領域活力發展的方向。團隊自主研發了小型化、高刻線密度一維光柵線位移傳感器，首創基于錐面衍射和光柵偏振調制的光柵位移測量方法，解決了衍射干涉光柵測量中反、衍射光信號混疊引入相位誤差和波片參數引入多階非線性誤差的問題。一維光柵線位移傳感器攻克錐面衍射共點測量、各向異性衍射偏振調制、雙向多普勒干涉測量等多項核心關鍵技術，打破國外相關技術封鎖，實現555nm柵距下350mm位移測量。
 

圖1光柵線位移傳感器測量原理圖
 

　　“中國制造2025”發展戰略對高端裝備制造業的質量提出了更高要求，超精密測量對提升高端裝備制造質量具有基礎支撐作用，并在制造全過程中的質量控制發揮決定性作用?！耙痪S光柵線位移傳感器”打破該領域的對外依賴，有效提升了我國關鍵核心部件研發水平，推動了高精度位移測量核心部件國產替代，全面支撐我國高端裝備制造能力跨越式發展！
 

　　2022年首屆“金燧獎”中國光電儀器品牌榜獲獎名單公示