【中國儀表網 儀表研發】從磚塊大小的“大哥大”，到小巧輕便多功能的智能手機；從笨重的臺式電腦，到便攜輕薄的平板電腦，這些電子產品“瘦身”過程的背后均是――微納米技術的革新。廣東省計量科學研究院(以下簡稱廣東省計量院)通過科研立院，使多種微納米精密分析儀器量值得到準確溯源，為微納米計量準確、技術水平接軌國際提供了技術支撐。
 

 

(圖片來自網絡，侵刪)
 

　　當前科技日新月異發展，尤其是納米技術在材料、化學、生物、能源和醫藥衛生等領域廣泛應用，且具有重要地位和廣闊市場前景。納米技術研究主要是研究、發現和加工結構尺寸小于100nm的材料、器件和系統，以獲得所需要的功能和性能。
 

　　隨著納米科技及微加工的發展，微納尺度產品的計量檢測愈加迫切，需求也逐漸增大。為解決量傳溯源問題，廣東省計量院通過承擔質檢總局科研項目“微納米薄膜厚度的量值溯源及膜厚測量儀器校準技術研究”和省科技廳科研項目“微納米尺度薄膜臺階標樣及膜厚量傳體系研究”，成功研制出微納米線寬標準樣板、納米臺階高度標準樣板、薄膜厚度標準樣品等。其研究成果可用于掃描電子顯微鏡(SEM)、掃描探針顯微鏡、X射線熒光測厚儀的校準。在此基礎上，廣東計量院率先在國內建立掃描探針顯微鏡、X射線熒光測厚儀校準兩項大區級計量標準，基本解決華南地區該類微納米尺度儀器的量傳溯源問題。
 

　　為促進微納米技術水平與接軌國際，廣東省計量院參與了國家科技支撐計劃項目“微納技術計量標準和標準物質研究”，協助國家計量院開展計量型掃描電鏡及雙探針掃描探針顯微鏡標準測量裝置的研究，在國內首次實現掃描電鏡的測量結果直接溯源至國際米定義激光波長基準，同時利用雙探針測量模式，突破探針顯微鏡的測量盲區，實現真三維納米結構的準確測量。
 

　　目前，經廣東省計量院校準的掃描電子顯微鏡、X射線熒光測厚儀等高端分析儀器，為華南地區的微電子、超精密加工、新材料以及汽車制造產業等領域共150多家企業提供了轉型升級的量傳溯源支撐，助推產業轉型升級。例如，國家級高新技術企業深圳華星光電在液晶顯示面板研發過程中存在精密元器件量值不確定等問題，一直沒有攻關成功。廣東省計量院對其微觀分析儀器進行校準和溯源，確保儀器測量結果準確可靠，促進了該企業的高端液晶面板開發。
 

　　隨著新興產業的發展，微納米技術將涉及新材料、新能源、新裝備等幾乎所有新興產業領域。廣東省計量院在此項技術上取得多項突破，為未來其他計量基準所需的微納器件自主研發奠定了基礎。據悉，廣東計量院將加大微納技術研發投入和力度，為微納技術進入產業提供支撐，助力“中國制造2025”。