【中國(guó)儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】2018年9月21日，上海計(jì)量院起草的《微納米臺(tái)階高度樣板校準(zhǔn)規(guī)范》和《微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板校準(zhǔn)規(guī)范》兩項(xiàng)地方計(jì)量技術(shù)規(guī)范進(jìn)行審定。
 

 

　　審定會(huì)上，來(lái)自于全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)、復(fù)旦大學(xué)、浙江省計(jì)量科學(xué)研究院等單位的專家組成的專家組詳細(xì)聽(tīng)取了起草組關(guān)于規(guī)程編制說(shuō)明、征求意見(jiàn)匯總與處理、試驗(yàn)報(bào)告的匯報(bào)，并對(duì)規(guī)程送審稿進(jìn)行了認(rèn)真討論。
 

　　專家組一致認(rèn)為兩項(xiàng)校準(zhǔn)規(guī)范技術(shù)資料齊全、內(nèi)容完整，規(guī)范提出的計(jì)量特性合理、校準(zhǔn)方法科學(xué)，同意規(guī)程通過(guò)審定，將盡快形成報(bào)批稿后批準(zhǔn)發(fā)布。
 

　　微納米臺(tái)階高度(深度)標(biāo)準(zhǔn)樣板和微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板主要用于掃描探針顯微鏡、臺(tái)階儀、觸針式輪廓儀和光學(xué)式表面形貌測(cè)量?jī)x等納米測(cè)量?jī)x器的校準(zhǔn)，在納米級(jí)長(zhǎng)度量值傳遞中起到關(guān)鍵作用。
 

　　以上兩個(gè)規(guī)范的編制也是國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)“跨尺度微納米測(cè)量?jī)x的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用”的輸出成果，規(guī)范批準(zhǔn)發(fā)布后，預(yù)計(jì)將有效解決本市集成電路制造企業(yè)使用的微納米臺(tái)階高度(深度)標(biāo)準(zhǔn)樣板和微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板只能依靠國(guó)外機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)溯源的困境，對(duì)支撐我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展有重要的積極意義。